در دنیای تولید دقیق و پرداخت سطح،اکسید سریمپودر جلا دهنده به عنوان یک ماده متحول کننده ظاهر شده است. خواص منحصر به فرد آن، آن را به یک جزء ضروری در طیف وسیعی از کاربردهای جلا دهنده، از سطوح ظریف لنزهای نوری گرفته تا ویفرهای پیشرفته در تولید نیمه هادی ها، تبدیل کرده است.
مکانیسم صیقلدهی اکسید سریم ترکیبی جذاب از فرآیندهای شیمیایی و مکانیکی است. از نظر شیمیایی،اکسید سریم (مدیرعامل₂) از حالتهای ظرفیت متغیر عنصر سریم بهره میبرد. در حضور آب در طول فرآیند صیقلکاری، سطح موادی مانند شیشه (که عمدتاً از سیلیس، SiO2، تشکیل شده است)₂) هیدروکسیله میشود.مدیرعامل₂سپس با سطح سیلیکای هیدروکسیله شده واکنش میدهد. ابتدا یک پیوند Ce-O-Si تشکیل میدهد. به دلیل ماهیت هیدرولیتیک سطح شیشه، این پیوند بیشتر به Ce-O-Si(OH) تبدیل میشود.₃پیوند.
از نظر مکانیکی، سخت و ریزدانهاکسید سریمذرات مانند سایندههای ریز عمل میکنند. آنها به صورت فیزیکی ناهمواریهای میکروسکوپی سطح ماده را میتراشند. همانطور که پد پولیش تحت فشار روی سطح حرکت میکند،اکسید سریمذرات، نقاط مرتفع را ساییده و به تدریج سطح را صاف میکنند. نیروی مکانیکی همچنین در شکستن پیوندهای Si-O-Si در ساختار شیشه نقش دارد و حذف مواد را به شکل قطعات کوچک تسهیل میکند.یکی از ویژگیهای قابل توجهاکسید سریمصیقلکاری، توانایی آن در تنظیم خودکار سرعت صیقلکاری است. وقتی سطح ماده ناهموار است،اکسید سریمذرات به طور تهاجمی مواد را با سرعت نسبتاً بالایی حذف میکنند. با صافتر شدن سطح، سرعت صیقلکاری قابل تنظیم است و در برخی موارد، حتی به حالت "خود-توقف" میرسد. این به دلیل برهمکنش بین اکسید سریم، پد صیقلکاری و افزودنیهای موجود در دوغاب صیقلکاری است. افزودنیها میتوانند شیمی سطح و چسبندگی بین ... را تغییر دهند.اکسید سریمذرات و ماده، به طور موثر فرآیند پولیش را کنترل میکنند.
زمان ارسال: ۱۷ آوریل ۲۰۲۵
